- CLEANSORB ® PRIMELINE PS and PD (Single & dual systems)
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PRIMELINE 시리즈(series)는 CLEANSORB를 이용한 모든 기능을 보유한 모델입니다.
이 시스템은 금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD) 공정에서 사용되는 가스의 종류, 사용량 및 운영조건에 특화되어 설계
되었습니다. CLEANSORB PS 모델은 대용량의 백업 컬럼(Back-up Column)이 존재하여, 메인 컬럼(Main
column)에 문제가 생기거나 수명이 다한 경우에라도 지속적인 운영과 고객 제품의 생산 진행이 가능합니다.PRIMELINE PD 모델은 2개의 메인 컬럼(Main column)과 백업 컬럼(back-up column)이 존재하여 총 3개의 반응
구간이 있습니다. 하나의 매인 컬럼(Main column)이 배기가스(Exhaust gas)를 흡수(Absorption)할 수 있으며, 또
다른 메인(Main column)은 일부 잔여가스(Residual gas)의 완벽한 처리를 위하여 존재합니다. 또한 모든컬럼(
Column)은 리필(Refill)을 하기 위해 시스템 캐비닛으로 부터 탈착 전에 독립적인 퍼지(purge)기능을 제공합니다.
저희 시스템은 기본적으로 반도체 장비안전 국제표준 규격인 SEMI-S2 를 준수하며, 경우에 따라 UL, CE 인증을
진행합니다.
>Advantages
- MOCVD 공정의 주요 공정 가스인 AsH3, PH3, GeH4에 사용 가능한 전용 CLEANSORB 적용
- TMGa, TEGa, TMAl, TMIn 처리용 전용 CLEANSORB 적용
- Air, H2O와 접촉 시, 또는 다량의 공정가스 사용시 발열을 야기하는 실리콘, 3-5족 epitaxial 공정의 안전한 발열 관리를 위해 최적화.
- 컬럼(Column)의 적외선 온도 모니터링 시스템 및 온도 상승 시 불활성 가스를 이용한 급속 냉각과 같은 안전 기능 장착
- 자동화된 운영 시스템이 탑재된 Touch-screen control (PD model)
- 이중 안전장치(Independently Dual interlock) 기능이 있는 SEMI-S2 인증 완료.